第96章（第1页）

姜昭节往曲旭清身边走了两步，一位大牛正举着实验数据，向他确认一个光刻机物镜的数据差。

刘佳宁瞧见姜昭节听得认真，也走了过去。

这是在说物镜数据的误差?哦，是最后那几次试验的结果啊。

她压低了声音，这个误差和咱们公司用的镜片质量有些关系。

镜片加工和镀膜水平都不是顶尖，导致图形出现一部分扭曲。

光刻机的作用是将设计好的芯片线路图，通过一系列手段完全等比例缩小，从而完美地刻在硅片上。

兔国的线路图设计水平位于世界前列，但一直无法制造高端光刻机，基本依赖进口。

这其中，原因有很多，也包括光刻机的物镜系统不能自主生产。

姜昭节拧起眉头，神色有些凝重，刘佳宁愣了一下，误会他没明白自己的意思，于是进一步解释。

物镜系统的作用，姜总你知道的吧?补偿光学误差，并等比例缩小线路图。

这个需要非常高的精度来避免图像变形，所以和平时见到的什么显微镜、望远镜的镜片是有区别的。

包括材质、镀层什么的，要求都更加严苛。

姜昭节点点头，也压低了声音：但星维现在使用的物镜，已经是国内能买到的最好的了。

是直接从实验室出来的。

刘佳宁一惊，再次对姜昭节广阔的人脉叹为观止，边上那位大牛听到，也惊奇侧目。

小友辛苦了。

大佬和蔼地道，你有这个心，还尽了这个力，实在是难得。

姜昭节忙谦虚了几句。

大佬摇摇头，很是真心地夸赞了姜昭节一会，转头看向刘佳宁：小刘啊，你过来看。

看出来什么了吗?

刘佳宁走上前去，看着大佬指出的几处数据，疑惑道：这几组数据好像都有点偏高了。

[

，术很可能会影响整个光刻机的温控设备。

刘佳宁恍然大悟，还对姜昭节解释道：这应该就是我本能觉得不对的地方了。

咱们公司的实验室，没有单独测量物镜温度的设备，我倒是疏忽了这一块的问题。

目前对于调控缩放线路图的光路，比较先进的方法是控制透镜和反射镜的温度。

新技术可以缩短芯片制程，虽然减少一定能耗，但每单位路程上，光束更加集中，导致单位体积内热量增高，必然影响温控设备的使用和调节。

曲旭清琢磨着道：看来得增加一个补偿校正温度的设备。

刘佳宁：温度控制器?以目前国内的物镜生产水平，恐怕得加大功率的才有效。

姜昭节随口道：什么样算大功率?如果功率过大，会不会这项技术能够减少的能耗?

刘佳宁和曲旭清同时皱起眉头：这个要测定一下，还不好说。

但如果温控设备的消耗超过了新技术节约的能耗，那这项技术

有不如没有。

两人忍不住发愁，辛辛苦苦好几年，好不容易拿出了优秀的成果，如果这个问题无法解决，那技术就只能是技术，永远无法应用到实际中。

更无法产生效益。

星维前前后后砸了好几个亿在半导体项目上，如今刚看到一点成功的希望，要是真遭遇这么严重的问题，别说回本了，投资不算完全打了水漂，那都是理想状态了!

这么恐怖的亏损，只怕要让姜昭节寒心的!

曲旭清很想回报姜昭节，没想到技术存在这么大的隐患，当场就懵了。

刘佳宁也很头疼，开始考虑研发能耗小一点的温度控制设备。

但她不是这方向的专业人才，一时间竟找不到

!

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